闻瞳

本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面，对该技术进行系统性解析。

一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口

当前半导体制造技术正经历关键变革：鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极（GAA）纳米带晶体管替代，中段制程（MOL）因多重图形化技术的应用，堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部，传统光学检测手段难以有效识别。

同时，先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性，集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”，此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发，成为影响良率的核心因素。

行业面临的核心矛盾在于：电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术，但传统电子束检测采用光栅扫描模式，效率远低于光学检测，无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现，为破解这一矛盾提供了可行路径。

二、DirectScan 核心技术架构：PointScan 的创新逻辑

DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成，其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构，主要体现在以下三方面：

1

设计感知驱动的靶向检测

传统电子束检测采用无差别光栅扫描，需覆盖包括介质区域在内的全部区域，且无法识别被测目标的图形特征；PointScan 技术具备非接触式电学测试特性，可精准跳转至目标器件的关键位置（如焊盘、接触点），仅对有效检测区域实施电压衬度检测，完全规避介质区域的无效扫描，实现 “按需检测”。

2

检测效率的量级提升

通过 FIRE 平台的精细化版图分析，可精准筛选出需检测的 “关键区域”，大幅缩减检测范围：

后段制程金属 3 层通孔检测：仅需扫描总可检测面积的 2.5%

中段制程栅极 - 漏极短路检测：仅需扫描总接触点的 1%

栅极残筋检测：可规避 50%-75% 的介质区域，检测面积缩减至传统方案的 10% 以下

基于上述优化，PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍，每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。

3

设计感知学习与属性分析能力

DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合，可实现跨多层版图的属性提取，包括触点类型（漏极 / 栅极）、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。

eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码，可与版图特征精准匹配，工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率，快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案，为工艺优化提供数据支撑。

三、高难度场景的应用突破

PointScan 技术的低电荷沉积特性，使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破：

背侧供电网络（BSPDN）晶圆检测

键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导，导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题；PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量，有效缓解上述问题，已完成实际应用验证。

3D DRAM检测

3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积，此前检测难度较高，DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。

DRAM 阵列短路检测

独有的可控 “充电 - 检测” 功能，可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号，使特定岛状节点呈现高亮状态，清晰识别与浮空相邻触点的短路问题，该功能为传统光栅扫描技术所不具备。

四、行业落地实践与全流程应用

自 2022 年初起，eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地，目前两套设备投入大批量生产，第三套设备处于产能爬坡阶段，应用场景覆盖半导体制造全流程：

先进逻辑芯片制造

中段制程：GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测

后段制程：M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测

背侧供电网络：电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测

随机逻辑电路漏电情况评估

先进 DRAM 制造（2024-2025 年）

外围电路：栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位

存储阵列：基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测

技术总结

在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下，检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合，在保留电子束检测高灵敏度的基础上，实现了检测吞吐量的量级提升，同时破解了高难度场景的检测难题。

该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题，更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级，为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。

　　游客游览虞姬文化园。 本报通讯员 鲁 兵 摄

　　灵璧钟馗文化园。本报通讯员 张训练 摄

　　泗水在灵璧东面由北向南流过，上古磬石作为贡物记入《尚书》，“泗滨浮磬”，律吕呈祥，开中华礼乐文明“金石之声”。楚汉争雄，十面埋伏中“霸王别姬”，引来千秋慨叹。隋唐以降，汴河于此东行南下，行旅流连，兰皋称盛，欧辞苏笔，阔写胸襟。明清以后，汴水淤阻交通中断。今天，润泽通达的新汴河又由灵璧汩汩流过，风云古战场重归繁华静好，千古馨韵依然金声玉振，虞花照眼，更多游人真切触摸灵璧悠悠文脉，聆听雄浑深沉、不绝如缕的历史回音。

　　泗滨浮磬

　　一般以为，“灵璧”县名始于北宋，但据考证，秦汉之际就有此县，置县迄今已有2200多年。“灵璧”之名，意谓此地灵秀所钟、蕴石皆璧。

　　灵璧，坐落在淮北平原的东南端。因为整个平原均匀地向东南倾斜，很符合神话所描述的“地不满东南，故水潦尘埃归矣”形势，灵璧正处在低洼处。灵璧石系亿万年前石灰岩经高温、高压作用演化而成，叩击时音质激扬清亮，余音不绝，其最著名产地是渔沟镇磬石山。古人很早就发现灵璧石是制磬的上等材质，《尚书·禹贡》已有“泗滨浮磬”记载。

　　磬作为一种石制打击乐器和礼器，广泛使用于对神灵祖先的祭祀、庙堂庆典。西周以降及春秋，社会的崩坏与乐密切相关。《论语·微子》记载了“击磬襄入于海”——敲磬的乐官襄流落到了海滨。专业乐师流失了，标志礼崩乐坏、社会失序。在文质彬彬的“礼乐中国”，以灵璧石作磬，传天地正声，扬风教善治，自三代以来形成传统，直到元代，朝廷仍“取石泗滨为磬，以补空悬之乐”。

　　灵璧因为磬石而深深融入礼乐精神。战国时，孟尝君滥用磬石，有违典制，导致齐国陷于危境。后来孟尝君“亲御泗滨人，迎石登诸庙”，使家国转危为安。孟尝君的转变，与“礼乐内化于精神”的泗滨之人义正辞严的正告相关。

　　“灵璧一石天下奇，声如青铜色如玉”，灵璧石号称中国四大名石之首、“天下第一石”。隋唐以至明清，由于士大夫文化和造园风气的发展，灵璧石的采获交流日益发达，大者装饰苑囿湖山，小者陈设案几，把握清玩。奇观妙赏，价逾金玉，举世为之倾狂，诗文吟咏文字极多。这些诗文或者肯定其礼乐教化意义：“天生此材岂苟然，伐而用之百兽舞。”（饶节《石鱼行赠灵壁张氏》）“维兹灵璧，产于泗滨。爰伐作磬，克谐八音。响振郊庙，祗荐名yīn （“礻”+“因”）。”（李俣《却璧铭》）更多的则是描摹其范形山水、仪象百物的情状：“迩来得石不盈尺，依稀尚带莓苔迹。气象中含万仞悬，秀润仍分千里碧。”（饶节《向居卿所藏灵壁石歌》）“雨垂青欲滴，云过碧争雄。”（王世贞《题轩中灵璧石》）

　　除了诗歌，还有很多画作、石谱，表现奇石形状气韵。晚明画家吴彬曾画过一卷《十面灵璧图》，配以题跋，其一跋曰：“巅锐如颖，态欹若醉。上阔而纷披起伏，下瘦而宛转拖曳。如西子出浴，弱不胜衣；又如飞燕舞掌，狂不自定”。文图相映，勾画石骨、石韵的动人魅力。

　　至此，灵璧石承载了礼乐文化的典正雍容，经由士大夫精神、文人趣味的洗礼补充，又注入欣赏造物所工、自然情趣的审美品格，奇石文化内涵更加丰厚。

　　虞姬千古

　　灵璧有一处很大的虞姬园，园内有虞姬墓，墓前有古碑一方。古今诗词联语甚多，值得一游。

　　终结楚汉争雄的战局，就发生在灵璧垓下：“千重汉围合，一夜楚歌声。”最后，八千子弟，尽归于汴泗；百二山河，都付于刘三！“拔山力尽霸图隳”，帐中佳人将何以自处？“大王意气尽，贱妾何聊生？” 唱罢，剑血飞红、香消玉殒。

　　这是为人们所熟知的霸王别姬故事。

　　后人歌咏虞姬之作多落在灵璧，主题之一是歌颂虞姬的情忠。苏轼《虞姬墓》：“仓黄不负君王意，只有虞姬与郑君。” 吴嘉纪《虞美人花》云：“年年持此意，以报项家恩。”这些诗，都突出虞姬的忠贞。有些诗写虞姬身后的祠祀、声名，以此说明其道义价值：范成大《虞姬墓》：“戚姬葬处君知否，不及虞兮有墓田。” 陈鹤年《虞姬墓》：“此丘千载尚名虞。”倪元璐联语：“今尚祀虞，东汉已无高后庙。”

　　但从现代回望，这些歌颂与历史的真实情景是否相宜？

　　《史记》谈及虞姬仅有八字：“有美人名虞，常幸从。”如果还不明此话之底里，可参考《史记·项羽本纪》中另一些材料：“项羽引兵西屠咸阳，杀秦降王子婴，烧秦宫室，火三月不灭，收其货宝妇女而东。”刘邦也一样：“四月，汉皆已入彭城，收其货宝美人，日置酒高会。” 烧杀掳掠、霸占妇女，完全不惜其死活，这方面，刘、项并无不同。

　　烽火江山杀人越货，难以淳化成英雄美人的儿女情长。虞项情缘更多是出于杂史、传说、戏文。今灵璧、定远皆有虞姬墓。据《大明一统志》载：“相传灵璧葬其身，定远葬其首”。如果虞姬是自刎而死，她何以身首异处？《太平寰宇记》给出了回答：“虞姬冢在县南六十里，高六丈，即项羽败，杀姬葬此。”历史皱褶里有多少善恶难分的历史悲剧？清代诗人何溥的《虞美人》说：“时人莫羡朱颜好，个是千秋碧血成。”遥望漫长封建社会里被政权、神权、族权、夫权束缚的无数女性，讨论拘属于强人的薄命红颜的忠义价值，是一个诛心的论题。

　　终酬帐下痴心诺，听四面悲歌，尽清风一舞；别解人间刎颈交, 留千秋绝唱，胜彩蝶双飞……灵璧虞姬园联语，不少还是讴歌英雄儿女倾情相爱，生死相随。人们还是执着地相信人性的美好、爱情的纯真。

　　但也有很多咏虞之作，悲忧凄怆，让人动容。《冷斋夜话》载有“曾子宣夫人魏氏”所作的《虞美人草行》：“芳心寂寞寄寒枝，旧曲闻来似敛眉。哀怨徘徊愁不语，恰如夜听楚歌时。滔滔逝水流今古，汉楚兴亡两丘土。当年遗事久成空，慷概樽前为谁舞？”我们听到了对封建社会女性生命价值的悲慨追问。

　　《红楼梦》中也有一首咏虞之作：“肠断乌骓夜啸风，虞兮幽恨对重瞳。黥彭甘受他年醢，饮剑何如楚帐中？”黥布、彭越均是封侯的勇将，黛玉把虞姬与之参照，突破旧社会女性作为男性附庸的身份自限，明显透出一种自重自强女性的凌冽气骨。

　　不断被漂洗提纯的历史碎片，经过一方水土化融，恰似苌弘化碧，展现出历史的悲壮难言、爱情的美好易碎、生命的脆弱绚烂。“虞美人式的唯美气质、狂飙性格和浪漫情怀”，灵璧文化深受此虞姬精魂的浸染。

　　兰皋盛事

　　隋唐时期，京杭运河开通，成为王朝连通东南财赋的命脉，其连通黄、淮的一段长六百五十公里，又称汴水、汴河。灵璧处于汴水咽喉的前哨，一时间商贾辐辏、客货繁忙、重焕生机。此处的一所私家园林也引起瞩目，这就是灵璧张氏兰皋园。

　　灵璧故城西门凤仪门外的张氏园，是一所广袤的苑囿，据考证，今灵璧西关小学以北大片区域即是故址。宋祁、欧阳修、曾巩、苏轼、黄庭坚、刘跂、黄裳等一众名家均曾留连此间，留下不少名篇佳作。

　　让我们一窥消逝于历史烟尘的兰皋风致。宋祁写道：“山林闲处乐，溪濑静中喧。春桂开前坞，秋菘接后园。”（《兰皋亭》）欧阳修写道：“林花朝落砌，山月夜临池。雨积蛙鸣乱，春归鸟哢移。”（《题张损之学士兰皋亭》）曾巩写来则是：“汴水溶溶”“黄花艳艳”“梨枣累累”“鹑兔争肥”（《过零壁张氏园》）。美景纷繁，雅趣横生，风情各异，让人神驰。诗歌之外，苏轼《灵璧张氏园亭记》记载：“蒲苇莲芡，有江湖之思；椅桐桧柏，有山林之气；奇花美草，有京洛之态；华堂厦屋，有吴蜀之巧。”

　　其中，欧苏的作品最为突出。欧阳修《题张损之学士兰皋亭》写于北宋景祐三年（1036），这一年欧阳修写信给谏官高若讷为范仲淹鸣不平，结果被贬为夷陵令，这首诗即写在他贬谪夷陵的赴任途中。遭受不公，欧阳修没有满怀怨怼，而是用快乐的心情来欣赏眼前美景，心志浩然洒脱。

　　欧阳修的学生苏轼一生多次往来于张氏园，他在元丰二年作的《灵璧张氏园亭记》中称：“古之君子，不必仕，不必不仕。必仕则忘其身，必不仕则忘其君……于以养生治性，行义求志，无适而不可。”君亲利禄皆不能狃其心志，出入自由，超然自适，终不失其独立人格，不愧是苏轼。

　　六年之后的元丰八年（1085）正月，经历了“乌台诗案”的苏轼再访兰皋园。九死一生后，艰危困顿中，苏轼留下了“聊同语笑说东坡”（《留题兰皋亭》）这样豁达的诗句。

　　靖康之难，社稷飘零，一代名园，终归泯灭。所幸文章犹在，如精金美玉，仍有温暖人心、照亮历史的恒久魅力。

　　感而赋诗曰：一代名园久掩埋，重寻胜迹只蒿莱。欧苏辞笔根芽在，更向灵乡沃野栽。经由灵璧，抚过斑驳的历史年轮，检阅繁盛的诗文题咏，就此记录一段惹人流连的惊艳地方文脉。

会上，志高空调重磅发布了符合新能效国家标准的新一级能效系列新品。业内人士指出，志高率先全面布局新一级能效产品，不仅奠定了能效水平行业领先的地位，更将2020年空调业的价值之战拉升到了一个新高度，有望引领空调行业实现能效水平的快速提升。

志高空调总裁 滕光胜

“史上最严”空调能效新国标将实施  志高率先抢占风口

今年1月6日，空调能效新标准《房间空气调节器能效限定值及能效等级》（GB 21455-2019）已通过审批，新国标将于2020年7月1日正式实施。面对“史上最严”空调新能效标准，志高却敏锐地嗅到了市场，释放了率先全面布局新一级能效产品的信号。

志高空调首席研发工程师 唐利

本次发布会尽管时间不长，却是“干货满满”，特别是新发布的新一级能效新品，不仅能效标准上超越即将实施的空调“新国标”，而且均具备一键开启智能防霉自清洁”、负氧离子、五大核心智能云技术等功能，在健康、智能技术上下足功夫，让用户室内呼吸环境更加舒适、健康。除了为用户带来更好的体验，通过这场发布会，志高也为空调行业能效水平快速提升开了一个好头。在“后疫情时代”的国内市场，志高抓住“健康”、“能效”积极破局，更好地推动了空调产品的节能减排进程，对于整个家用空调行业能效水平的提高有着积极的推进作用。

据悉，除发力新一级变频外，未来志高还将积极拓展与主业相关联的高价值新产品、新产业，推动企业战略转型升级，如在居家空气改善、新型净化新风领域、基层公卫－院感防控等产品领域与第三方展开战略合作，这或将是志高未来在健康空调战略上新的突破点。

空调市场旺季或迎来能效争锋  志高引领行业价值新战

2020年是空调行业消费升级的关键一年，志高空调也迎来了深度调整后的“品牌再出发”。自4月份国内疫情趋稳，空调市场步入旺季以来，志高保持节奏，稳扎稳打。继前不久于419超级品牌日“直播带货”首秀上实现“两小时突破3709万”的佳绩后，志高又乘胜追击，率先推出“新一级能效”空调，不仅自身将节能减排和节省能源做到了实处，更将引领全行业对于2020空调新能新国家标准的落地实施。

志高空调副总裁兼国内营销本部总经理 杨军

尽管空调能效向来是各大空调企业重点瞄准的方向，但由此引发的“作弊”现象亦时有发生，实现行业规范化发展已成大势所趋。面对“最严”空调能效新国标即将实施，对空调生产企业的要求也会相应提高。而有着26年专注之功的志高空调，在“高能效战略”上的布局可谓早矣，早在2006年就推出了集“超节能、超健康、超静音”于一体的“三项全能之王--三超王”；2010年又再度推出“世界之最”的节能空调--季节能效比高达8.36的三超王变频空调新品“变频至尊”，受到了业界的广泛关注与消费者的一致好评。此外，志高还曾先后6次刷新世界能效比纪录，无不印证着志高在空调节能技术研发上的行业领先实力。

进入传统空调市场旺季，线下消费需求正得到全面释放。作为空调“节能派”领军企业的志高，此次推出超一级能效系列空调，不仅能带动市场实现新旧能效的快速切换，也将对“后疫情时代”的空调市场起到极大的提振作用，助力空调行业发展。